Laser Ellipsometer

激 光 椭 偏 仪


膜层厚度，折射率，褪偏因子





SE

 性能表
型号命名工业用：XE3000  /   教学用：LE-M5
测试参数椭偏参数Psi/Del，膜厚/折射率
测试精度厚度0.1nm，折射率0.001
激光波长632.8nm
光学探测增益自动调配
光学补偿单补偿器
选配多点 X-Y 坐标(笛卡尔坐标)，测试点位可软件编辑
皮带传送测试，机械手传送测试（CT时间0.5秒）
MES支持数据库及csv共享文件

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总部地址：上海市 松江区 莘砖公路258号 37幢401室


我们提供各式光谱椭偏、激光椭偏、反射式光谱等检测仪器。

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