Spectroscopic Ellipsometer

光 谱 椭 偏 仪


膜层厚度，折射率，消光系数，褪偏因子

界面粗糙度，混合膜层比例，结晶度，不均匀分布





SE

COSE 基本参数选型表
光谱范围350-1000nmC--可见
210-1000nmUC--紫外-可见
210-1700nmUN--紫外-可见-近红外
光学补偿器RC---单补偿器
RC2-C2-双补偿器
多点X-Y (笛卡尔坐标)--M大行程至230mm
X-R (极坐标)--R大直径至300mm

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总部地址：上海市 松江区 莘砖公路258号 37幢401室


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