Ellipsometer
椭 偏 仪
膜层厚度，折射率，消光系数，褪偏因子
界面粗糙度，混合膜层比例，结晶度，不均匀分布
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RC1/RC2/PCSAr
SE
X-Y/X-ʘ
<1s
经过10余年技术积累，我们的光谱椭偏具有：单点测试速度低于1秒、笛卡尔及极坐标2种可选多点测试、RC1/RC2/PCSAr 3种椭偏模式、谱段宽至210-1700nm、双光纤等性能。
我们的激光椭偏具有：单点CT时间0.5秒，支持皮带及机械手传片全检或抽检等性能。
工业用激光椭偏仪: XE3000
教学用激光椭偏仪: LE-M5
1点或5点，单点CT时间0.5秒，支持皮带及机械手传片全检或抽检等性能，与离线光谱椭偏仪完全对标。
SR
离线结构为X-ʘ Mapping 结构，9单点时间0.2秒，9点约6秒，支持皮带及机械手传片全检或抽检等性能。
我们提供各式光谱椭偏、激光椭偏、反射式光谱等检测仪器。
系科仪器（上海）有限公司
