椭偏系列，ELLIPSOMETRY SERIES

反射式膜厚系列，REFLECTOMETER SERIES

反射式膜厚仪[ R-Series ] 

厚度、折射率、消光系数

适用：较厚膜层，半导体上介质膜，砷化镓上镀膜

高性价比

分析软件[Elli-Spec]

[ 椭偏分析 ] [ 薄膜光学特性分析]

[ 反射率分析] 

激光椭偏仪

[ LE-M5 ]  [ SE-5000 ]

单层膜层厚度

单波长点折射率，消光系数，褪偏因子

专用配件

[ 格兰泰勒] [格兰汤普森] [四分之一波片][椭偏仪专用标准片]

[ 氙灯] [ 氙灯电源] [ 氙灯触发器] [ 氙灯]

[白板] [灰板] [抗紫外钝化光纤]  等反射仪、椭偏仪专用配件

经典光谱椭偏仪

[ RISE-Zenith ]  [ RISE-100 ]

膜层厚度，折射率，消光系数，褪偏因子

界面粗糙度，混合膜层比例，结晶度，不均匀分布

穆勒矩阵椭偏仪 [ i-MSE ]

各向异性材料测量（16个穆勒矩阵元素）

超高精度膜层厚度、折射率、消光系数、褪偏因子

界面粗糙度、混合膜层比例、结晶度、不均匀分布

总部地址：上海市 松江区 莘砖公路258号 漕河泾开发区32幢802室

我们提供各式光学检测服务，包括膜层厚度、膜层折射率、消光系数、界面反射率、介质穿透率、面电阻、Haze等检测内容。

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系科光电科技（上海）有限公司