系科仪器

SYSCOS INSTRUMENTS

椭偏系列ELLIPSOMETRY SERIES

反射式膜厚系列REFLECTOMETER SERIES



反射式膜厚仪[ R-Series ] 

厚度、折射率、消光系数

适用:较厚膜层,半导体上介质膜,砷化镓上镀膜

高性价比

分析软件[Elli-Spec]

[ 椭偏分析 ] [ 薄膜光学特性分析]

[ 反射率分析] 





激光椭偏仪

[ LE-M5 ]  [ SE-5000 ]

单层膜层厚度

单波长点折射率,消光系数,褪偏因子





专用配件

[ 格兰泰勒[[][椭偏仪专用标准片]

[ 氙灯] [ ] [ ] [ ]

[白板] [] [抗紫外钝化光纤]  等反射仪、椭偏仪专用配件

经典光谱椭偏仪

[ RISE-Zenith ]  [ RISE-100 ]

膜层厚度,折射率,消光系数,褪偏因子

界面粗糙度,混合膜层比例,结晶度,不均匀分布



穆勒矩阵椭偏仪 [ i-MSE ]

各向异性材料测量(16个穆勒矩阵元素)

超高精度膜层厚度、折射率、消光系数、褪偏因子

界面粗糙度、混合膜层比例、结晶度、不均匀分布

Syscos Instruments
Experts in thin film
膜层检测服务-系科仪器膜层分析事业部

总部地址:上海市 浦东新区 陆家嘴 东方路135号 海东大楼6楼


我们提供各式光学检测服务,包括膜层厚度、膜层折射率、消光系数、界面反射率、介质穿透率、面电阻、Haze等检测内容


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