Ellipsometer
椭 偏 仪
膜层厚度，折射率，消光系数，褪偏因子
界面粗糙度，混合膜层比例，结晶度，不均匀分布
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RC/RC2/RA
SE
X-Y/X-ʘ
1s
具有笛卡尔与极坐标2种可选多点Mapping、RC/RC2/RA 3种椭偏模式、双光纤等性能。
我们的激光椭偏具有：支持皮带及机械手传片全检或抽检等性能。
工业用激光椭偏仪型号: XE3000
教学用激光椭偏仪型号: LE-M5
膜厚仪，或称反射式膜厚仪，使用反射率R为中间参量计算镀层膜厚，支持皮带及机械手传片全检或抽检等性能，可与离线光谱椭偏仪对标。
工业用在线膜厚仪型号：MSR100/MSR500
离线式通用膜厚仪型号：R10(单点)，R20(曲面)，R30(微光斑)
SR
反射率测试仪，或称8°角反射率测试仪，离线结构为X-ʘ式 Mapping 结构，单点时间0.3秒，9点时间约6秒，支持皮带及机械手传片全检或抽检。
工业用最新离线反射率测试仪型号：REF300D
我们提供各式光谱椭偏、激光椭偏、反射式光谱等检测仪器。
系科仪器（上海）有限公司
