Spectroscopic Reflectometer
膜 厚 仪
膜层厚度，折射率，消光系数，褪偏因子
界面粗糙度，混合膜层比例，结晶度，不均匀分布
SE
入射光
透射光
薄膜
反射光
SR原理
SR利用白光的反射光谱，测量透明或吸收衬底上的透明或吸收膜的厚度，为用户提供了一种低成本的非接触测量方案。
SR能够在VIS-NIR光谱范围内对单层膜、多层膜进行反射光谱测量。可分析透明或弱吸收薄膜的厚度和折射率。
SR可以与光谱椭偏仪形成组合工作，特定膜系可与光谱椭偏仪对标。SR可应用于半导体、SiC、MEMS、AR、玻璃等产业的镀膜厚度及折射率测量。
%R - 反射率
我们提供各式光谱椭偏、激光椭偏、反射式光谱等检测仪器。
