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# 高效+简洁+易用  #光谱椭偏 # COSE EllipSometry

COSE 系列是系科仪器公司推出的光谱椭偏系统,具有卓越的整体设计及工业稳定性。系统标配了自动对焦系统、自动光选系统、相位补偿系统...



  

iMSE 穆勒椭偏
R10 膜厚仪
R30 膜厚仪
R-inline 膜厚仪
RISE 光谱椭偏





COSE 光谱椭偏
R20 膜厚仪
LEM 激光椭偏


最新技术

我们拥有关于光谱椭偏、穆勒矩阵椭偏、激光椭偏、反射式膜厚、硬度计体系、颜色/穿透/反射仪 等检测内容先进成熟的技术积累,且应用经验丰富,是一支强大的专业研发团队

# 新一代椭偏软件系统 # Syscos ElliSpec 4.0

仅仅 Measure / Auto Focus / Auto intensity / Regress???  仅仅 EMA / Dispersion / Roughness / Gradient / Anisotropic??? …… 新一代的ElliSpec 4.0已揭开面纱,5年心血汇聚而成。



  

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最新技术


销售网络

我们正在为全球各大TFT-LED,OLED,科研院校,晶硅及薄膜电池等领域厂家提供膜层检测等方案,产品进入航天科工集团,京东方集团,厦门大学等一线单位并远销国内外。
  

# 在线多点 # 膜层检测,系科习作

光谱从不会错 。R-inline Series 采用光弹开关串联采集多测试点的反射率光谱,集成FFT快速膜厚定位引擎,并精确回归分析计算,最快速度可至100 Hz,最小光斑可至30 μm。


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系科团队

我们提供各式光学检测设备和服务,有诸多从事膜层检测研究超10年的应用工程师。
  

自 RISE-Zenith 发布以来,其优秀的工业设计,精致好用的系统得到了广大用户的认可,很多用户会使用它测出的数据发表高影响力的研究。






权威认可RISE-Zenith 闪耀 ADVANCED MATERIALS

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贵宾云集,共襄盛举。作为中国大陆地区最大的半导体专业展览会,到访的专家、代理商以及客户共享上海系科成长的喜悦。5年间,我们只  Focus on thin film metrology,你正好需要,我正好专业。



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Focus on thin film metrology!Syscos @ Semicon China


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