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系科仪器致力于先进椭偏技术研究,协助客户提高研发及生产效率,以及带给客户更好的使用体验。
# 高效+简洁+易用 #光谱椭偏 #
COSE EllipSometry
COSE 系列是系科仪器公司推出的光谱椭偏系统,具有卓越的整体设计及工业稳定性。系统标配了自动对焦系统、自动光选系统、相位补偿系统
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系 科 新 闻
# 在线多点 # 膜层检测,系科习作
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R-inline Series 采用光弹开关串联采集多测试点的反射率光谱,集成FFT快速膜厚定位引擎,并精确回归分析计算。
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# 新一代椭偏软件系统 #
Syscos ElliSpec 4.0
仅仅 Measure / Auto Focus / Auto intensity / Regress??? 仅仅 EMA / Dispersion / Roughness / Gradient / Anisotropic??? …… 新一代的ElliSpec 4.0已揭开面纱。
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