系科仪器

SYSCOS INSTRUMENTS

将光谱椭偏能力推向极限

迄今为止,最先进的光谱椭偏仪:穆勒矩阵光谱椭偏仪

告诉您折射率的本质,从此,各向同性+各向异性+更高的精度,都不是问题

Muller Matrix SE




i-MSE 是系科仪器公司最新推出的穆勒矩阵光谱椭偏仪。i-MSE 采用两个补偿器的光学设计,保证了能一次测量提取出16个穆勒矩阵元素,成功地将椭偏仪的应用领域从传统的各向同性材料扩展到各向异性材料,如液晶层、MgF2等。


i-MSE 具有拥有比传统光谱椭偏仪更高的原始数据(Psi&Del)采集精度,是业内迄今为止最先进的光谱椭偏仪。


i-MSE 外观接受定制,如载物台平面垂直或水平等。分光形式也可自选单色仪光源或光纤光谱仪探测。i-MSE还可自由切换至PSCA测量,覆盖了RISE-Zenith的所有功能。

双补偿光学结构

两个补偿器按一定的比例旋转

控制系统

光纤光谱仪

C1

P

C2

A

抗紫外钝化光纤

光源

氟化镁,液晶分子,How?

  
  

高稳定光源,Real Time触发,高分析能力

  
  

我们可免费给您测试各种各向异性薄膜

并为您提供16个穆勒矩阵元素阵列及更准确的膜厚和折射率,帮助您更了解您的薄膜



i-MSE 技术规格


波长

350nm - 1000nm (标准,其余可选)

膜厚精度

0.2Å for 100 nm SiO2 on Si

折射率精度

1x10-4 for 100 nm SiO2 on Si

入射角

自动 :7° - 90° (精度0.0072°);手动: 5° - 90°/5°

光学结构

PCSCA,采集参数PsiDel

光学对焦

含自动光学对焦(标准配置)

Mapping

200mm *200mm (标准配置),其余可选

数据库

各种电介质、薄膜、晶体及非晶半导体、金属等的NK文件;复杂建模模型

探测器

真空制冷,背照式CCD光谱仪

灯源

氘卤复合灯源

 
































  上海系科光电

      

     +86-021-20223339

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