系科

SYSCOS INSTRUMENTS

真正高效简洁的光谱椭偏

  

重新定义易用型光谱椭偏

COSE 系列光谱椭偏是系科仪器公司推出的手动变角光谱椭偏系统,具有卓越的整体设计及工业稳定性。系统标配了自动对焦系统、自动光选系统、相位补偿系统,强化膜检能力的同时简化了使用难度。采用的双光纤化设计,使得系统不受限于光源及探测本身,且维护方便。系统搭配的ElliSpec1.17.4 软件系统,将复杂的模型建立简易化,远程化,可以很方便的得到系科公司专业材料应用分析工程师的技术支持,降低了客户关于建立模型的知识能力要求。

COSE所见,您之所信

数秒之内,COSE会做到:



1. 无论衬底透明还是非透明,COSE均能精确地自动定位到测试面;


2. 自动选择对应的测试光强,不会饱和,不会过弱,保证信噪比;


3. 薄至0.1nm,厚至20μm无处遁形,


4. 叠层膜、吸收膜之厚亦不在话下;


5. 致密性(折射率)、消光系数、介电常数、膜层界面粗糙度、梯度混合比...


疑难杂膜?别担心,一切还有我们

COSE精通:



1. 有机膜,包括NPB、YBD、YBH 等


2. 纳米级金属层膜 (薄至透光);


3. 薄至0.1nm级的任何氧化物膜、氮化物膜、有机膜等


4. 叠层膜 (具有分层制样);


5. PEGMA、PI、ITO、PE等各水溶、旋涂、沉积、溅射膜...


6.高效电池之ALD/PECVD所镀 AlOx、SiNx、Poly、Amorphous...

...


数十年膜层分析经验积累,成就经典COSE;

您之所迷惑,我们都知道。

一切源于经典 ElliSpec 1.17.4

(Ver.)

技术规格,型号选择


  系科仪器​

      

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​薄膜检测是我们的事业

我们提供各式膜层属性的检测服务,包括厚度、折射率、反射率、消光系数、透过率、面电阻、Haze等检测内容

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