系科仪器

SYSCOS INSTRUMENTS

膜厚测量: 简单+便宜+非接触 = R系列

上海系科又一力作,反射式膜厚仪(Syscos Refletometer)
无拘无束,轻松准确测出您所镀的膜层厚度,协助您监控并改善工艺

入射光
透射光
薄膜
反射光



上海系科【Syscos】目前提供反射式膜厚仪系统:R30,系统相应波长用户可自主选择。

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R30利用白光的反射光谱,测量透明或吸收衬底上的透明或吸收膜的厚度,为用户提供了一种最为低成本的非接触测量方案。


R30能够在VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率。


R30还可以与光谱椭偏仪形成组合工作。R30具备高性能、坚固可靠的结构,以及出色的软件系统,广泛应用于半导体、玻璃、金属片的镀膜测量。



%R  -  反射率




100

R系列 技术应用





测量内容

  • 膜层厚度(Thickness);
  • 折射率(Refractivity);
  • 消光系数(Extinction coefficient)

可扩展成

  • 在位/ 离位 测量 反射仪
  • 大面积扫描 反射仪
  • 透射率量测仪
  • 可依据客户需求,精选光源及光谱仪并系统微型化集成

应用领域

  • 透明衬底上的膜层;
  • 较厚膜层;
  • 半导体、砷化镓介质膜;
  • 金属衬底上的膜层;

R30 技术规格


型号

R30

光源

稳定高强度的卤素灯光源

光谱范围

450-920nm

光斑直径

50μm

探测器

SMA接口的CCD光谱仪

测量数据

反射率R

测量时间

一般单次测量500ms

分析参量

膜厚、折射率

薄膜厚度范围

up to 25μm

膜厚精度

1nm (500nmSiO on Si) or 1%(厚度大于1000nm)

膜厚准确度(1 σ)

0.3 nm (400 nm SiO2/Si)

折射率精度

±0.005(对SiO2标准片)

折射率准确度(1 σ)

0.005(对SiO2标准片)

电源

220V交流电

电脑

桌面式PC或笔记本电脑,Win 7系统

 

【FRT-100】

标准

 

波长范围450-920nm (其余可选);

独立显微镜系统、光纤光谱仪系统;

   

特点

 

强大的FRTTester软件;

同时获取反射率、厚度、折射率信息;

光谱范围宽;

非接触测量;

低成本高精度检测方案;

可配合光谱椭偏仪实用;


R30 技术特征



  上海系科光电

      

     +86-021-20223339

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我们提供各式膜层属性的检测服务,包括厚度、折射率、反射率、消光系数、透过率、面电阻、Haze等检测内容