系科
SYSCOS INSTRUMENTS
上海系科【Syscos】目前提供反射式膜厚仪系统:R30,系统相应波长用户可自主选择。
R30利用白光的反射光谱,测量透明或吸收衬底上的透明或吸收膜的厚度,为用户提供了一种最为低成本的非接触测量方案。
R30能够在VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率。
R系列 技术应用
可扩展成
应用领域
测量内容
R30 技术规格
型号 |
R30 |
光源 |
稳定高强度的卤素灯光源 |
光谱范围 |
450-920nm |
光斑直径 |
50μm |
探测器 |
SMA接口的CCD光谱仪 |
测量数据 |
反射率R |
测量时间 |
一般单次测量500ms |
分析参量 |
膜厚、折射率 |
薄膜厚度范围 |
up to 25μm |
膜厚精度 |
<1nm (对500nmSiO
on Si) or <1%(厚度大于1000nm时) |
膜厚准确度(1 σ) |
0.3 nm (对400 nm SiO2/Si) |
折射率精度 |
±0.005(对SiO2标准片) |
折射率准确度(1 σ) |
0.005(对SiO2标准片) |
电源 |
220V交流电 |
电脑 |
桌面式PC或笔记本电脑,Win
7系统 |
|
【FRT-100】 |
标准 |
波长范围450-920nm (其余可选); 独立显微镜系统、光纤光谱仪系统; |
特点 |
强大的FRTTester软件; 能同时获取反射率、厚度、折射率信息; 光谱范围宽; 非接触测量; 低成本高精度检测方案; 可配合光谱椭偏仪实用; |
R30 技术特征
系科仪器
+86-021-20223339
薄膜检测是我们的事业
我们提供各式膜层属性的检测服务,包括厚度、折射率、反射率、消光系数、透过率、面电阻、Haze等检测内容。